中心成立紀要：

晶圓平坦化創新研究中心 (CMP Innovation Center, CIC) 成立於 2013 年，結合學界 - 臺科大與日本九州工大、產業界 - EBARA 日本荏原製作所研發能量。

中心成立宗旨與核心價值：

1. 引進先進設備使本中心成為亞太地區 CMP 產業重要的研究中心與技術服務平台，促進台灣 

  CMP 相關產業與學界的研究合作與發展。

2.運用本中心學術研發的能力開設專業的 CMP 教育課程，提供學術與業界新進人員先期受訓

  的目的，並與國內外業界緊密合作，提升技術的研發與人員教育的能量。